低溫等離子凈化器內部裝有獨特的碰吸單元，截留去除廢氣中的顆粒物質，廢氣收集系統收集的多元素氣體經過等離子活性氧凈化裝置，在高壓等離子電場的作用下，電離初始態氧將其中的廢氣離子進行電離荷電凈化，帶電的微小離子(塵埃粒子)被吸附單元所收集并流入和沉積到氣體處理裝置的儲塵箱內，氣體內的有害氣體被電場內所產生的臭氧所殺菌，并去除了異味，有害氣體被除掉,達到廢氣處理的目的。

低溫等離子體工業廢氣處理成套設備和技術作為一種新型的氣態污染物的治理技術是一個集物理學、化學、生物學和環境科學于一體的交叉綜合性電子化學技術，由于能很容易使污染物分子高效分解且處理能耗低等特點，是目前國內外大氣污染治理中最富有前景、最行之有效的技術方法之一，其使用和推廣前景廣闊，為工業領域甲醛類有機廢氣及惡臭氣體的治理開辟了一條新的思路。

等離子凈化器又被稱之為是低溫等離子廢氣凈化器，在這一種凈化器里，它分成了三個獨立而又混合的系統，在每一個激發系統中都有著特定的功能。

       微波激發區：微波激發區中至少都有3-9個微波激發單位，這些單位處理的風量不同數量也不同。微波由于它的頻率相對較低，在短暫的時間中就能有效的作用于被處理的空間，同時正是由于微波功率的相對較小，因此它的激發能力也是有上限的。

       低溫等離子體激發：低溫等離子體激發是由40-240只充有特殊氣體的無極管所組成的低溫等離子體激發區，低溫的等離子體是工藝的核心技術，這一工藝主要是借助低氣壓的無極燈作為低溫等離子體的激發體，較大限度的在無極管區實現低溫等離子體區，同時由于低溫等離子體在能量躍遷過程中所具有的極強能量平衡性，因此在粒子撞擊中損失的能量是非常少的。

       極板區：極板區能夠根據被處理的氣體流量，極板間的電壓就會被分為12KV、16KV-42KV，在足夠高的電壓下，配合上引風的作用，在常壓或是接近常壓的條件下有相當的粒子能夠實現低溫等離子體。

使用低溫等離子凈化器注意事項：

1、為保證設備的凈化效率，風機應設在廢氣凈化器的后面。

2、廢氣凈化器如安裝在支架之上時，應與支架緊固連接；與排煙管道之間的連接必須密封。

3、廢氣凈化器應安裝在室外，有足夠的空間用來維護與維修；室外安裝時，應加裝防雨、遮陽的遮陽篷。以免影響廢氣凈化器的正常使用壽命以及增加不必要的維護費用。

4、為保證廢氣凈化器的凈化效率，與設備出入風口連接的變徑風管要盡量平順。

5、廢氣凈化器箱體應安全可靠接地；安裝過程中不允許磕碰電極，嚴禁異物落在凈化器內等。